در این پژوهش پوششهای Ta، TaC و TaSiC به روش کندوپاش مگنترونی غیرواکنشی لایهنشانی شده و خواص ساختاری، ریزساختاری، مکانیکی و خوردگی بررسی شده است. نتایج XRD نشان دادند که پوشش Ta ساختار کریستالی تانتالم α، پوشش TaC ساختار کریستالی TaC0.6 و پوشش TaSiC ماهیت شبهآمو چکیده کامل
در این پژوهش پوششهای Ta، TaC و TaSiC به روش کندوپاش مگنترونی غیرواکنشی لایهنشانی شده و خواص ساختاری، ریزساختاری، مکانیکی و خوردگی بررسی شده است. نتایج XRD نشان دادند که پوشش Ta ساختار کریستالی تانتالم α، پوشش TaC ساختار کریستالی TaC0.6 و پوشش TaSiC ماهیت شبهآمورف از خود نشان دادند. در این ارتباط، پوشش Ta ریزساختاری ستونی با زبری بالا و تنش پسماند کششی از خود نشان داد، در حالیکه افزودن کربن و سیلیسیم به پوشش سبب فشردهشدن ریزساختار، کاهش زبری سطح و تغییر ماهیت تنش پسماند از کششی به فشاری شد. همچنین نتایج آزمون نانوفرورونده نشان داد که افزودن کربن به پوشش تانتالم باعث افزایش حدود چهار برابری سختی پوشش میشود، ولی افزودن سیلیسیم به پوشش TaC سختی پوشش را اندکی کاهش میدهد. مطالعات خوردگی نشان داد همه پوششها نسبت به زیرلایه ST37 ماهیتی کاتدی از خود نشان دادند که میتواند منجر به خوردگی گالوانیک شود. علاوه بر این نتایج خوردگی نشان داد که پوشش Ta بازده حفاظتی به میزان ٪9/78 برای فولاد ساده کربنی را به همراه دارد و افزودن کربن و سیلیسیم به پوشش سبب افزایش بازده حفاظتی به مقادیر ٪1/90 و ٪5/95 به ترتیب برای پوششهای TaC و TaSiC میشود .در این ارتباط نقش این عناصر در فشردگی پوشش و کاهش مسیرهایی که محلول خورنده میتواند به زیرلایه برسد، کلیدی تشخیص داده شد.
پرونده مقاله