فهرست مقالات micro-electromechanical systems (MEMS) دسترسی آزاد مقاله صفحه چکیده متن کامل 1 - میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت نسترن نادمی جواد کرمدل