فهرس المقالات سیستمهای میکرو الکترومکانیکی (MEMS) حرية الوصول المقاله صفحة الملخص نص كامل 1 - میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت نسترن نادمی جواد کرمدل