فهرس المقالات سیستم میکروالکترومکانیکی (MEMS) حرية الوصول المقاله صفحة الملخص نص كامل 1 - بررسی تاثیر ضخامت و فشار در دیافراگم های میکرو الکترو مکانیکی در میزان جابجائی در کاربردهای پزشکی نازلی زرگرپورفردین