مطالعه روش های ساخت لایه های نازک و کاربردهای آن ها در مسائل محیط زیست
الموضوعات : کاربرد شیمی در محیط زیست
حسن آبسالان
1
(گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اهر، اهر، ایران)
الکلمات المفتاحية: لایه های نازک, روش های ساخت, ویژگی ها و کاربردها, محیط زیست,
ملخص المقالة :
در این مقاله، تکنیک های مختلف ساخت لایه های نازک و همچنین کاربردهای آن ها در مسائل محیط زیست مورد مطالعه قرار گرفته است. ضخامت لایه‌های نازک معمولاً در محدوده بین ۵۰ و ۵۰۰۰ آنگستروم قرار می گیرد. روش های ساخت لایه های نازک، عمدتاً به دو صورت فیزیکی و شیمیایی انجام می گیرد. با کاهش ضخامت یک لایه نازک، رسانایی الکتریکی آن، کاهش و مقاومت الکتریکی آن، افزایش می یابد. همچنین کاهش ضخامت لایه، منجر به کاهش شدت مغناطیسی آن می گردد. از طرف دیگر، به علت افزایش میزان سطح به حجم در لایه‌های نازک، سرعت تغییر دما و واکنش شیمیایی نسبت به حالت توده ای افزایش می یابد. از جمله عوامل مؤثر بر کیفیت یک لایه نازک می توان به ساختار زیرلایه، سرعت لایه نشانی، دمای زیرلایه و نوع خلاء اشاره کرد.
[1] علی رضا رازقی زاده، فیزیک لایه‌های نازک، دانشگاه پیام نور، تهران، ۱۳۸۸.
[2] M. C. Rao and M. S. Shekhawat. A brief survey on basic properties of thin films for device application, International Journal of Modern Physics: Conference Series. 22, World Scientific Publishing Company (2013).
[3] H. Frey, Applications and Developments of Thin Film Technology, Handbook of Thin-Film Technology, Springer, Berlin (2015).
[4] K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adachi, Thin Film Materials Technology- Sputtering of Compound Materials, Springer, William Andrew Inc publishing, New York (2004).
[5] M. Ohring, The Materials Science of thin Films, Deposition and structure, Academic press (2002).
[6] K. Seshan, Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques- Principles, Methods, Equipment and Applications, William Andrew Publishing, New York (2001).
[7] علی معتمد اکتسابی، روش های نوین در تکنولوژی ساخت لایه ها، انتشارات سازمان انرژی اتمی، 1374
[8] کاووس میرعباس زاده، تکنولوژی ساخت لایه های نازک و کاربردهای آن، انتشارات دانشگاه امیر کبیر، 1381
[9] V. P. Elanjeitsenni, K. S. Vadivu, B. M. Prasanth, A review on thin films, conducting polymers as sensor devices, Mater. Res. Express 9 (2022) 022001.
[10] V. Gao, Wang, J. Yuan, H. Li, Preparation and magnetic properties of Ni–P–La coating by electroless plating on silicon substrate, Appl. Surf. Sci. 364 (2016) 740.
[11] A. Piegari and F. Flory. Optical Thin Films and Coatings- From Materials and Applications, Woodhead Publishing (2018).
[12] R. Islam, H. D. Banerjee, D. R. Rao, Structural and optical properties of CdSexTe1-x thin films grown by electron beam evaporation, Thin Solid Films 266 (1995) 215.
[13] W. Gulbinski, Deposition of Thin Films by Sputtering, Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies. NATO Science Series, 55, Springer, (2002) 309.
[14] T. D. Moustakas, Molecular Beam Epitaxy: Thin Film Growth and Surface Studies, Cambridge University Press (2013) 29.
[15] J. P. Praseuth, Molecular beam epitaxy of AlGaInAs on patterned InP substrates for optoelectronic applications, Microelectronics Journal 26 (1995) 841.
[16] B. J. Wu, G. M. Haugen, J. M. DePuydt, L. H. Kuo, L. Salamanca‐Riba, Molecular beam epitaxy of low defect density (⩽1×104 cm−2) ZnSSe on GaAs, Appl. Phys. Lett. 68 (1996) 2828.
[17] J. Dieleman, E.V.de Riet, J. C. S. Kools, Laser Ablation Deposition: Mechanism and Application, Japanese Journal of Applied Physics 31 (1992) 1964.
[18] A. G. Guidoni, I. Pettiti, A. Morone, V. Marotta, M. Snels, G. P. Parisi, G. Bentivenga, Laser deposition of thin films of high Tc superconductors: In situ analysis of the transient species formed in the plume and surface diagnostics of the deposited material, Appl. Surf. Sci. 69 (1993) 365.
[19] G. A. Petersen, J. R. McNeil, Effects of oxygen partial pressure on lead content of PLZT thin films produced by excimer laser deposition, Thin Solid Films 220 (1992) 87.
[20] D. P. Birinie, A Model for Drying Control Cosolvent Selection for Spin-Coating Uniformity: The Thin Film Limit, Langmuir 29 (2013) 9072.
[21] F. E. Ghodsi, H. Absalan, Comparative study of ZnO thin films prepared by different sol-gel route, Act. Phys. Pol. A 118 (2010) 659.
