بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه‌های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC
الموضوعات :علی امیرعبداللهیان 1 , عبداله افشار 2
1 - دانش آموخته کارشناسی ارشد خوردگی و حفاظت مواد، دانشکده مهندسی مواد،
دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات، تهران
2 - استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران
الکلمات المفتاحية:
ملخص المقالة :
