بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه‌های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC

محورهای موضوعی : عملیات حرارتی

علی امیرعبداللهیان ¹ (دانش آموخته کارشناسی ارشد خوردگی و حفاظت مواد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات، تهران)
عبداله افشار ² (استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران)

تاریخ دریافت : 1394/02/05 تاریخ پذیرش : 1394/02/05 تاریخ انتشار : 1390/09/01

کلید واژه: