بررسی اثر پخت بر ناهمواری سطوح لایه‌های نازک ITOتهیه شده با روش تبخیر باباریکهالکترونی از طریق تکنیک شمارش- جعبه

محورهای موضوعی : عملیات حرارتی

داود رئوفی ¹ (دانشیار، عضو هیأت علمی گروه فیزیک، دانشگاه بوعلی سینا همدان)
زهرا کلالی ² (کارشناس ارشد فیزیک اتمی و مولکولی دانشگاه بوعلی سینا همدان)

تاریخ دریافت : 1394/02/02 تاریخ پذیرش : 1394/02/02 تاریخ انتشار : 1393/09/01

کلید واژه: